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德國海德漢HEIDENHAIN敞開式直線光柵尺

簡要描述:德國海德漢HEIDENHAIN敞開式直線光柵尺
敞開式直線光柵尺設(shè)計用于對測量精度要求*的機(jī)床和系統(tǒng)。
典型應(yīng)用包括:
半導(dǎo)體業(yè)的測量和生產(chǎn)設(shè)備
PCB電路板組裝機(jī)
超高精度機(jī)床
高精度機(jī)床
測量機(jī)和比較儀,測量顯微鏡和其它精密測量設(shè)備
直驅(qū)電機(jī)

  • 產(chǎn)品型號:LIC 4003
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2024-03-13
  • 訪  問  量:822

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌應(yīng)用領(lǐng)域生物產(chǎn)業(yè),石油,地礦,電子,交通

德國海德漢HEIDENHAIN敞開式直線光柵尺

線性比例尺

集成電路4003

測量標(biāo)準(zhǔn)

線膨脹系數(shù)*

玻璃陶瓷或玻璃上的冶金光柵

αTherm?8·10–6 K–1(玻璃)

αtherm=(0±0.5)·10–6 K–1(Robax微晶玻璃)

精度等級*

?1微米(僅適用于Robax玻璃陶瓷),?3微米,?5微米

基線誤差

≤±0.275微米/10毫米

測量長度(ml)*

在毫米

240 340 440 640 840 1040 1240 1440 1640 1840 2040 2240 2440

2640 2840 3040(Robax微晶玻璃,多1640毫升)

質(zhì)量

3 g+0.11 g/mm測量長度

掃描頭

LIC 411

LIC 419 F

LIC 419 m

LIC 419 P

LIC 419 Y

界面

恩達(dá)2.2

法努克

串行接口αi

三菱高速接口

松下

串行接口

安川電氣

串行接口

德國海德漢HEIDENHAIN敞開式直線光柵尺

訂貨名稱*

EnDAT22

FANU05

MIT03-4

MIT02-2

PANA01

YEC07

測量步驟*

0.01微米(10納米)

0.005微米(5納米)

0.001微米(1納米)1)

計算時間tcal

時鐘頻率

小于5μs

小于16兆赫

-

穿越速度2)

不大于600 m/min

插值誤差

±20 nm

電氣連接*

電纜,1米或3米,帶8針M12連接器(外螺紋)或15針D形接頭(外螺紋)

電纜長度(帶海德漢電纜)

小于100米

小于50米

小于30米

小于50米

供電電壓

直流3.6伏至14伏

功耗2)(大值)

3.6伏時:≤700兆瓦

14伏時:≤800兆瓦

3.6伏時:≤850兆瓦

14伏時:≤950兆瓦

電流消耗(典型)

5伏時:75毫安

(無負(fù)載)

5 V:95毫安(無負(fù)載)

振動55赫茲至2000赫茲

沖擊6毫秒

小于等于500 m/s2(EN 60068-2-6)

小于等于1000 m/s2(EN 60068-2-27)

工作溫度

–10°C至70°C

質(zhì)量掃描頭

連接電纜

連接元件

不超過18克(無電纜)

20克/米

m12聯(lián)軸節(jié):15g;d-分接頭:32g

*訂購時請選擇

1)三菱:測量長度≤2040 mm

安川:測量長度≤1840 mm

2)見海德漢編碼器手冊接口中的一般電氣信息

Robax是德國美因茨Schott Glaswerke的注冊商標(biāo)

詳見:海德漢HEIDENHAIN敞開式直線光柵尺

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